光伏拉晶真空泵、電池鍍膜、組件層壓愛德華SL800爪式真空泵應用

需求背景：光伏行業(yè)真空泵；用于拉晶工藝、電池鍍膜、組件層壓等。

隨著光伏行業(yè)的發(fā)展，真空泵為光伏設備關鍵部件，設備中的真空穩(wěn)定性是工藝穩(wěn)定的關鍵技術之一；光伏用真空泵主要為干式真空泵、螺桿真空泵、爪式真空泵與羅茨真空泵；真空泵主要應用于硅片拉晶，電池片高方阻擴散（低壓擴散爐）和PVD、PECVD鍍膜工藝，組件層壓環(huán)節(jié)等。光伏電池主要分為：硅料制程、硅片制程、電池片制程和組件制程。

根據(jù)某光伏行業(yè)實際項目需求，深圳市托理拆利機電設備有限公司推薦選用了Edwards愛德華SL800爪式真空泵、GXS系列、iXH系列真空泵，用于光伏拉晶環(huán)節(jié)與電池片環(huán)節(jié)。

Edwards SL800爪式真空泵該真空泵適用于超嚴苛制程工藝，主要表現(xiàn)在內(nèi)部結(jié)構(gòu)沿用了 iXH 系列干泵類似設計如爪式干泵、大扭力電機、氮氣吹掃、 多種通訊方式支持等特性，有效處理工藝帶來的殘留氣體和副產(chǎn)物對泵的影響，確保泵的長時間穩(wěn)定工作，SL800(X) 型號作為 800m3/hour 級別抽速的高溫泵類型，針對于 PECVD Nitride （SiH4+NH3）鍍膜工藝，也可應用于 LPCVD、ICP Etch 等工藝上； SL800X 相對于 SL800 增加了內(nèi)部加熱帶，可進一步提高泵內(nèi)部溫度，適合 Metal/PSS etch 等工藝，可有效防止副產(chǎn)物冷凝。

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