品牌:《南軒電子》
型號(hào):CGB-XXXX―XX
3.設(shè)備適用:該設(shè)備適用于薄晶圓(到80 µm)以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)的晶圓。
4.設(shè)備特點(diǎn):采用標(biāo)準(zhǔn)的濕法工藝對(duì)硅晶圓片進(jìn)行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動(dòng)控制方式,保護(hù)脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。
CVD腐蝕清洗臺(tái)
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CVD腐蝕清洗臺(tái)
詳細(xì)信息 品牌:《南軒電子》
型號(hào):CGB-XXXX―XX 3.設(shè)備適用:該設(shè)備適用于薄晶圓(到80 µm)以及符合 SEMI單晶圓濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)的晶圓。 4.設(shè)備特點(diǎn):采用標(biāo)準(zhǔn)的濕法工藝對(duì)硅晶圓片進(jìn)行清潔、去膠、刻蝕和光刻。全電腦自動(dòng)控制方式,保護(hù)脆弱的薄晶圓在工藝流程中不受損毀。 |