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氦氣技術(shù)指標(biāo)：
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組分/雜質(zhì) |
純氦/4.0N |
高純氦/5.0N |
超純氦/6.0N |
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氦氣含量 |
99.99% |
99.999% |
99.9999% |
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氖Ne |
≤40ppm |
≤4ppm |
≤1ppm |
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氫H2 |
≤7ppm |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
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氧O2+氬Ar |
≤5ppm |
≤1ppm |
≤0.2ppm |
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氮N2 |
≤25ppm |
≤2ppm |
≤0.5ppm |
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一氧化碳CO |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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二氧化碳CO2 |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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總碳(甲烷)THC |
≤1ppm |
≤0.5ppm |
≤0.1ppm |
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水分H2O |
≤20ppm |
≤3ppm |
≤0.2ppm |
氦氣包裝種類
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鋼瓶種類 |
氣體壓力 |
氣體體積 |
氣體凈重 |
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50L鋼瓶? |
19.5±0.5MPa? |
10000L |
1.65kg |
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40L鋼瓶? |
14.5MPa |
5400L |
0.957kg? |
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10L鋼瓶? |
10MPa |
1000L |
0.165kg? |
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管束槽車(chē)（TT） |
20MPa |
約5000m3 |
約825kg |
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鋼瓶接口:QF-2、PX-32外螺紋/內(nèi)螺紋,螺紋出口G5/8(外徑22.911,牙數(shù)為14牙/英寸,螺距為1.814毫米,牙高1.162,小徑20.587),CGA580 |
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