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六氟化硫技術指標：
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組分/雜質 |
六氟化硫/4.0N |
六氟化硫/5.0N |
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六氟化硫含量 |
≥99.99% |
≥99.999% |
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空氣Air |
≤50ppm |
≤2ppm |
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四氟化碳CF4 |
≤15ppm |
≤1ppm |
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六氟乙烷C2F6 |
≤10ppm |
≤1ppm |
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八氟丙烷C3F8 |
≤10ppm |
≤1ppm |
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水H2O |
≤8ppm |
≤3ppm |
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酸度（以HF計） |
≤1ppm |
≤0.1ppm |
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可水解氟化物（以HF計） |
≤1ppm |
≤1ppm |
六氟化硫包裝種類
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鋼瓶種類 |
氣體壓力 |
氣體體積 |
氣體凈重 |
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40L鋼瓶? |
2.1MPa |
8.375m3 |
50kg? |
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10L鋼瓶? |
2.1MPa |
1.675m3 |
10kg? |
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鋼瓶接口:QF-2、PX-32，螺紋出口G5/8(外徑22.911,牙數(shù)為14牙/英寸,螺距為1.814毫米,牙高1.162,小徑20.587) |
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