TV－2KG 分子泵系統(tǒng)
　
•*典型應用－針對薄膜沉積設備而特別設計的抽氣系統(tǒng)

•是目前性能*優(yōu)，造型*緊湊的機型
•*新型的一體式抽氣理念，旨在實現(xiàn)*大生產(chǎn)量和*短停機時間
　
系統(tǒng)界面

•一體化 的機型包括了渦輪分子泵，驅動配置，供電電源配置，氣體保護配置機通信配置
•通用 的電子接口，便于用戶使用控制軟件
•模擬I/O信號，標配為RS232或RS485接口
•可選配Varian 通用總線控制接口
　
應用知識
　

•在特定的應用領域，通用產(chǎn)品無法全面滿足性能要求
•TV－2KG是應廣大用戶的真實需求而開發(fā)，可實現(xiàn)用戶滿意度
•配備獨特，為工業(yè)鍍膜行業(yè)量身定做
•滿足工業(yè)生產(chǎn)的工藝要求，得到工業(yè)界的認同

供貨鏈及物流

•通過有效的組織和計劃，保證了在*合適的時間和地點提供配件，減少用戶在當?shù)氐膸齑?
•供貨鏈上各種相關產(chǎn)品能高效周轉，用戶只備少量庫存亦可應付自如
•Varian的客戶服務組織采用先進的SAP系統(tǒng)，在全球共同運作

監(jiān)測及故障診斷

•具備自診斷功能
•實時監(jiān)測分子泵的各項參數(shù)，包括振動圖譜
•借助簡單的數(shù)據(jù)連接，Varian的服務組織可以為您提供實時服務
•主動的維護計劃使分子泵的使用壽命及無故障運行時間大大延長
　
完善的支持

•設有免費的熱線電話，為您提供實時全程服務
•各地的Varian代表使用您熟悉的語言與您溝通，為您提供技術/應用/訂貨/工程等方面的支持
•提供*廣泛的服務計劃，即使苛刻的需求您也可以得到專門周到的服務
　
鍍膜領域的應用包括

•建筑玻璃鍍膜，汽車玻璃鍍膜，太陽能玻璃鍍膜
•平板顯示屏鍍膜
•光學及電磁數(shù)據(jù)存儲產(chǎn)品的鍍膜，如讀寫探頭
•用于增強耐磨性能的表面處理
•用于眼科透鏡的光學鍍膜及用于光學數(shù)據(jù)傳輸上的慮光鏡鍍膜
•制備功能性薄膜及裝飾型鍍膜，包括金屬化膜層
•可應用于食品工業(yè)，包裝業(yè)及電子產(chǎn)品行業(yè)的卷繞鍍膜
•可應用于氣載叫道的PVD及其它等離子體工藝設備
　
可靠的設計

TV－2KG身為分子泵的一員，但性能更勝過普通分子泵，它是專為等離子體工藝領域設計開發(fā)的抽氣系統(tǒng)。事實上，TV－2KG的各抽氣級甚至整個泵的結構，都是以能在較高氬氣負載和溫度條件下保持*佳抽氣性能為目標來優(yōu)化設計的，它的電路系統(tǒng)具有更多附加特性，泵內還集成了放氣和抽氣閥門，其軸承具有免維護特性，這些優(yōu)點無疑使TV－2KG成為應用在鍍膜行業(yè)的*好的分子泵。
　
獨特的拖動級設計

TV－2KG雖然外形緊湊，但其拖動級的獨特設計確保了在高原強下對氬氣抽氣使仍保持大抽氣量。拖動級由一體化的兩層盤片組成，這樣的設計大大提高了散熱效率 ，因而*大程度地降低了泵高速運轉時的內部溫度。

內置的充氣及放氣裝置

TV－2KG將充氣及放氣閥集成于泵內，為世界首例。充氣保護及放氣過程的控制都由內部電路驅動完成，不再需要任何部件置于泵體外部。分子泵在這樣周到的保護下，不易受到外部沖擊和污染的損傷，因而*大限度地延長了使用壽命。
　
免維護

TV－2KG系統(tǒng)配置了Varian獨有地軸承和無油潤滑系統(tǒng)，可免維護長期運轉。另外，它可任意位置安裝，而絲毫不會降低其性能和壽命。
　
內置的溫度監(jiān)測系統(tǒng)

TV－2KG配備了特別的溫度控制系統(tǒng)，使其能夠實時監(jiān)控泵的氣載，功率，及冷卻水溫度，確保了材料負荷及軸承負荷在安全范圍內工作。
內置型具有防水性能的電路系統(tǒng)

TV－2KG所有的電路系統(tǒng)，都置于泵的底殼內，具有防水特性，符合IP54規(guī)范。借助微處理器的強大功能，TV－2KG的控制接口能與外部控制系統(tǒng)方便地連接，并通過一臺筆記本電腦和Navigator軟件輕松實現(xiàn)各種控制。
分子泵選型指南

分子泵
產(chǎn)品型號 V70 V70D V70LP V301 V551 V701 V1001 V2000HT V6000
轉速 rpm 75000 75000 75000 56000 42000 42000 38000 33000 14000
進氣口法蘭 DN 40/63 40/63 40/63 100/160 100/160 200 160/200/250 250 500
出氣口法蘭DN 16 16 16 16 25 25 40 40 100
抽速 N 2 L/s 46/68 40/60 46/68 250/280 350/550 690 790/950/1050 1950 6000
壓縮比 N2 5×107 5×107 5×108 7×108 ＞1×109 1×109 1×109 ＞1×109 ＞1×1010
極限壓強 mbar 1×10-9 ＜1×10-9 ＜2×10-10 ＜5×10-10 ＜1×10-10 ＜1×10-10 ＜1×10-10 1×10-10 ＜1×10-10
啟動時間 min ＜ 1 ＜ 1 ＜ 1 2.5 ＜ 5 ＜ 5 ＜ 4 10 30